奈米製程極限的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列線上看、影評和彩蛋懶人包

仿生設計大未來：人類進步的下一個關鍵

為了解決奈米製程極限的問題，作者阿米娜．汗 這樣論述：

從自然界找科技解答，將成為未來進步的關鍵！ NASA、哈佛、喬治亞理工學院，傾力投入仿生研究， 全球製造與工業高峰會將「仿生科技」定為2019年會議主題， 美國FBEI研究所預估，2030年仿生相關產業將在全球創造1.6兆美元GDP。 　　從太空探索、學術研究，到製程改良、賺錢商機與永續社會， 　　師法生物智慧的新趨勢，將徹底改變你我的世界。 　　蛇是繩索狀卻能飛，烏賊是色盲卻能根據環境改變體色， 　　火蟻蟻群不怕大洪水，因為牠們可以一隻鉤一隻形成大球結構漂浮於水面…… 　　生物的生存智慧迷人、有趣，而且充滿驚奇， 　　更重要的是，它將引領我們找到複雜問題的簡單解答。 　　（×）人類

這樣設計迷彩： 　　淺色調、圖案小，形成等明現象，襯著背景更顯突出，等於在說：「請用槍打爆我的頭。」 　　（○）烏賊這樣設計偽裝： 　　善用均勻、斑駁及破碎三種基本變色模組，打破身體輪廓，成功躲避掠食者，並迷惑自己的獵物。 　　（×）人類這樣接義肢： 　　一種材質只有一種硬度，義肢的堅硬材質直接接在柔軟的人體上，皮膚和肌肉因長期摩擦而痠痛、感染，甚至組織退化。 　　（○）魷魚這樣固定自己堅硬的喙： 　　魷魚喙以蛋白質構成，可根據蛋白彼此的相連程度改變硬度，從齒尖到牙根逐漸愈變愈軟，可以與魷魚柔軟的身體無痛相接。 　　（×）人類這樣蓋房子： 　　單憑想像設計出不符合當地氣候、風向、日照等條件

，又浪費建築材料的房子。 　　（○）白蟻這樣蓋房子： 　　每隻白蟻都是設計師兼營建工人，能因應風、聲音、濕度、土壤性質等當地特性，隨時挖掉或強化某些蟻丘結構，用最少材料蓋出最符合需求的房子。 　　搞懂葉片氧化水、固定二氧化碳的機制，可以如何革新我們的發電機制？ 　　觀察滿林子的落葉，能如何啟發地毯設計師設計出更省材料、容易替換的地毯？ 　　研究葉脈的熱傳導網絡，是如何幫助傳統塑膠工廠變得更有競爭力？ 　　探索生態系中各種個體的競爭與合作，如何幫助我們規劃出更永續地球的都市？ 　　科學最該致敬的對象，不是愛因斯坦， 　　而是地球上的每一種生物。 　　我們覺得自己很聰明，可以用科技解決所有問

題， 　　殊不知其他生物早就找到了解答， 　　我們需要做的只是虛心去跟它們學習！ 　　因為，科技始終來自生命的智慧。 名人推薦 　　【各界學者專業審定】 　　李後鋒／中興大學昆蟲學系副教授 　　邱國維（K.C.）／東海大學建築系助理教授 　　陳柏宇／清華大學材料科學工程學系副教授 　　陳浩銘／台灣大學化學系副教授 　　焦傳金／清華大學生命科學系教授 　　「這書充滿細節，而且寫得很好。這些細膩的故事描述了各種關於生物啟發的創新，一般讀者一定會愛上，保證也會吸引研究學者和研發人員的目光！」──Kirkus書評 　　◎什麼是仿生學（biomimicry）？ 　　仿生學是指，藉由學習並模仿大自

然來找到解決方法的一門跨領域科學，舉凡生物的型態、運作過程，乃至整個生態系統，都可以是人類效仿的對象。 　　◎為什麼我們要向大自然學習？ 　　面對自然界的嚴苛考驗和資源限制，生物用三十多億年的時間演化出了成功的適存策略，不只自己生存下來，更讓世世代代子孫得以繁衍茁壯。反觀我們人類，卻舉著「進步」的大旗，創造各種出高浪費、高毒性且高耗能的科技，走上了能源耗盡與環境污染的末路。因此，想要解決問題、追求永續，大自然才是我們最好的導師。 　　「你可以把大自然看成一本產品型錄，裡頭的每樣產品都花了三十八億年來研究和開發。投入這麼多心血，（我們）拿來善加利用也是合理的吧。」──仿生建築師 Michae

l Pawlyn  

奈米製程極限進入發燒排行的影片

二維材料於邏輯元件與記憶體內運算應用

為了解決奈米製程極限的問題，作者鍾昀晏 這樣論述：

半導體產業在過去半個世紀不斷地發展，塊材材料逐漸面臨電晶體微縮的物理極限，因此我們開始尋找替代方案。由於二維材料天生的原子級材料厚度與其可抑制短通道效應能力，被視為半導體產業極具未來發展性材料。此篇論文為研究二維材料二硫化鉬的N型通道元件之製作技術與其材料的特性與應用。首先，我們使用二階段硫化製程所製備的二硫化鉬沉積高介電材料並使用X-射線能譜儀（XPS）與光致發光譜（PL）進行分析，量測二硫化鉬與四種高介電材料的能帶對準，參考以往製程經驗，可結論二氧化鉿是有潛力介電層材料在二硫化鉬上，並作為我們後續元件的主要閘極介電層。接著使用二階段硫化法製作鈮（Nb）摻雜的二硫化鉬，Ｐ型的鈮摻雜可提升載

子摻雜濃度用以降低金半介面的接觸電阻，透過不同製程方式製作頂部接觸和邊緣接觸的兩種金半介面結構，傳輸線模型(TLM)分析顯示出，邊緣接觸結構比頂部接觸結構的接觸電阻率低了兩個數量級以上，並藉由數值疊代方式得知層間電阻率是導致頂部接觸結構有較高接觸電阻率主因，並指出邊緣接觸之金半介面在二維材料元件的潛在優勢。在電晶體研究上，我們使用化學氣相沉積（CVD）合成的二硫化鉬成功製作出單層Ｎ型通道元件，將此電晶體與記憶體元件相結合，用雙閘極結構將讀（read）與寫（write）分成上下兩個獨立控制的閘極，並輸入適當脈衝訊號以改變儲存在電荷儲存層的載子量，藉由本體效應（Body effect）獲得足夠大的

記憶區間（Memory window），可擁有高導電度比（GMAX/GMIN = 50）與低非線性度（Non-linearity= -0.8/-0.3）和非對稱性（Asymmetry = 0.5），展示出了二維材料在類神經突觸元件記憶體內運算應用上的可能性。除了與記憶體元件結合外，我們亦展示二維材料電晶體作為邏輯閘的應用，將需要至少兩個傳統矽基元件才可表現的邏輯閘特性，可於單一二維材料電晶體上展現出來，並在兩種邏輯閘（NAND/NOR）特性作切換，二維材料的可折疊特性亦具有潛力於電晶體密度提升。我們進一步使用電子束微影系統製作奈米等級短通道元件，首先使用金屬輔助化學氣相沉積 (Metal-as

sisted CVD)方式合成出高品質的二維材料二硫化鎢 (WS2)，並成功製作次臨界擺幅（Subthreshold Swing, S.S.）約為97 mV/dec.且高達106的電流開關比（ION/IOFF ratio）的40奈米通道長度二硫化鎢Ｐ型通道電晶體，其電特性與文獻上的二硫化鉬N型通道電晶體可說是相當，可作為互補式場效電晶體。另一方面，深入了解二維材料其材料特性後，可知在厚度縮薄仍可保持極高的機械強度，有潛力作為奈米片電晶體的通道材料。故於論文最後我們針對如何透過對元件製作優化提供了些許建議。

太陽能光電技術

為了解決奈米製程極限的問題，作者郭浩中,賴芳儀,郭守義 這樣論述：

　　本書共分為9章，從半導體基本原理到各種不同材料之運作原理和元件結構皆涵蓋在內。第3、4章以佔據市場率最高的矽晶太陽能電池為主；第5章以效率接近矽晶而成本最低的CIGS薄膜太陽能電池為主；第6章介紹效率最高的III-V多接面太陽能電池。第7章著重尚以學術界研發為主的新穎太陽能電池技術介紹。最後第8、9章則讓大家了解太陽能電池的應用及目前高科技的奈米檢測技術。 本書特色 　　內容涵蓋範圍廣泛，適合有志從事太陽光電研發、生產和應用的工程技術人員閱讀，也可作為研究生和大學高年級學生固態照明課程的教科書或半導體物理、材料科學、照明技術和光學課程的參考書。作者簡介 郭浩中 　　現職：國立交通大學光

電工程學系教授　　學歷：美國伊利諾大學香檳分校(UIUC)電機博士 　　經歷：　　華星光通科技股份有限公司雷射部門經理　　安捷倫科技光纖通訊部門資深研究員　　伊利諾大學香檳分校化合物半導體及微電子中心研究助理　　Lucent Technology Bell Laboratory貝爾實驗室異質接面半導體部研究助理 賴芳儀 　　現職：元智大學電機工程學系助理教授　　學歷：國立交通大學光電工程博士 郭守義 　　學歷：國立交通大學光電工程博士　　現職：長庚大學電子工程學系助理教授 蔡閔安 　　學歷：國立交通大學電子物理博士　　現職：工業技術研究院量測技術發展中心研究員

溫度效應於矽奈米帶氣體感測之影響研究

為了解決奈米製程極限的問題，作者王建閔 這樣論述：

中文摘要 iAbstract ii誌謝 iii目錄 iv圖目錄 vii表目錄 xii第一章 緒論 11-1研究背景 11-2氣體感測在醫療中的應用 31-3感測器的種類 51-3-1 電阻式(Resistance-Based) 61-3-2 功函數式(Work Function-Based) 71-4感測氣體及材料簡介 101-4-1氫氣(H2) 101-4-2感測材料-鈀 131-5電漿輔助原子層沉積系統(Plasma enhanced Atomic Layer Deposition, PEALD)

161-6焦耳熱效應(Joule Heating Effect) 201-6-1焦耳熱效應用於選擇性沉積及加熱移除光阻 201-6-2焦耳熱效應用於氣體感測 241-7研究動機 27第二章 實驗設計 292-1奈米帶元件製程 292-2原子層沉積製程 292-3元素分析 312-3-1冷場發射掃描式電子顯微鏡 312-3-2橢圓測厚儀 322-3-3穿透式電子顯微鏡 322-4奈米帶元件焦耳熱功率校正 342-5氣體感測系統 362-5-1訊號擷取系統 362-5-2氣體感測元件 39第三章 實驗結

果與討論 413-1 ALD沉積鈀金屬Pd 413-2元件及材料分析 443-2-1 SEM 443-2-2 XPS分析 453-3奈米帶元件焦耳熱功率校正結果 463-3-1外部加熱之金屬線電阻變化 473-3-2焦耳熱之金屬線電阻變化 513-3-3溫度校正結果 533-4氣體感測 623-4-1鈀金屬之氫氣感測機制 633-4-2溫度校正應用於氣體感測 673-4-3定功率及定電壓量測之比較 723-4-4多濃度量測及量測極限 76第四章 結論 824-1結論 824-2 未來展望 82

參考文獻 83