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國立交通大學 應用化學系分子科學碩博士班 李耀坤所指導 許照玄的 選擇性沉積氧化鋅在矽奈米元件之濕度感測應用 （2018），提出白金3776 ptt關鍵因素是什麼，來自於原子層沉積技術、焦耳自熱效應、選擇性沉積、氧化鋅、相對濕度、濕度感測、多重物理耦合軟體、多晶矽奈米帶。

而第二篇論文國立清華大學 電子工程研究所 葉哲良所指導 林威達的 外接式過濾裝置設計應用於肝功能異常呼氣檢測 （2017），提出因為有 過濾裝置、吸收劑、雜訊的重點而找出了 白金3776 ptt的解答。

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選擇性沉積氧化鋅在矽奈米元件之濕度感測應用

為了解決白金3776 ptt的問題，作者許照玄 這樣論述：

本研究整合了原子層沉積技術(Atomic Layer Deposition, ALD)，並利用元件焦耳自熱效應在元件上選擇性沉積氧化鋅於雙接面（n+/n-/n+）多晶矽奈米帶(Polysilicon Nanobelt, PNB)的n- 區域上，最後做為相對濕度感測器。研究成功運用此技術在元件n- 區域上選擇性沉積了氧化鋅，並進而分析氧化鋅元件對濕度感測之反應。由於元件的n- 區低濃度參雜，也是對表面最變化感測最靈敏的區域，因此這樣的設計可充分利用奈米元件的高靈敏度特性。研究同時也運用多重物理耦合軟體(COMSOL Multiphysics)，來模擬元件在焦耳自熱下的溫度分布。另一方面也利用熱

載台(Thermal chuck)進行外部加熱，來推算元件表面升溫時的電阻變化。綜合上述兩個方法即可準確估計元件在焦耳自熱下，電壓與元件表面溫度的關係。元件製備後置於聚二甲基矽氧烷(PDMS)小腔體中，在元件焦耳自熱下進行相對濕度感測。相對濕度的感測研究比較了不同操作電壓下(亦即元件工作溫度不同)的量測結果:研究觀察到相對濕度17%以上的響應呈現出電性響應反轉的現象。最後研究依水分子在氧化鋅表面的化學與物理吸附與電性響應的關係，提出選擇性修飾氧化鋅奈米元件之濕度感測機制模型。

外接式過濾裝置設計應用於肝功能異常呼氣檢測

為了解決白金3776 ptt的問題，作者林威達 這樣論述：

肝臟是人體新陳代謝主要的器官之一，其相關疾病是國人十分重視的問題。本文以超薄10奈米氮化銦作為感測材料，設計成氣體感測器偵測人體呼氣中sub-ppm等級的揮發性氣體濃度，將取代傳統侵入式抽血分析應用於檢測肝臟相關疾病。由於半導體材料製成的感測晶片，其優異的電性使得微量濃度的氣體也能夠容易被偵測到，薄膜與氣體間電子交換的感測機制皆會產生電訊號，也因為晶片的靈敏度極佳，故此感測器的應用對氣體的選擇性十分重要，若是能提升對氣體的選擇性，特定氣體訊號的可信度也會大幅提升。目前來說，氨氣為本氣體感測器預期測得的目標氣體，人體呼氣中超過兩百多種氣體，這些氣體的量足夠影響主訊號氨氣，尤其又以丙酮為首要量多

，且氮化銦感測器對氨氣與丙酮的反應訊號比為1：0.95，故雜訊氣體丙酮是首要濾除的目標。研究結果顯示，使用10cc非極性矽油當作吸收劑，於衝擊瓶模擬丙酮混合氣體實驗中，發現可有效地吸收約40%的丙酮雜訊。為了提升丙酮氣體吸收效率，除了找出對雜訊氣體選擇性最好的吸收劑外，找出參數能夠提升濾除丙酮氣體的能力，並於實驗中，證明設計方法可讓10cc矽油的丙酮吸收效率達到80%，並完成一3cm*1.5cm*5cm過濾器成品，可獨立使用，並在不影響原有的晶片高靈敏特性下，將其應用於肝病呼氣檢測。

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